ไส้กรองอากาศอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ฝุ่นที่เกาะติดกับวงจรรวมอาจทำให้เกิดการขาดการเชื่อมต่อและการลัดวงจร และฝุ่นส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตของผลิตภัณฑ์ ปัจจุบัน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ (โรงงานชิป) เป็นอุตสาหกรรมที่มีความต้องการมากที่สุดในแง่ของความสะอาดของอากาศในสภาพแวดล้อมการผลิต และยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดที่สุดสำหรับตัวกรองอากาศอีกด้วย

รูปแบบการระบายอากาศแบบดั้งเดิมในโรงงานชิปคือ "การหมุนเวียนขนาดใหญ่" ซึ่งเพดานทั้งหมดของโรงงานถูกปิดด้วยตัวกรอง HEPA และทั้งพื้นเป็นตะแกรงระบายอากาศกลับ ปัจจุบันนี้ โรงงานบางแห่งในโรงงานชิปใช้ FFU (''Fan Filter Units'') ซึ่งติดตั้งพัดลมของตัวเอง และการหมุนเวียนขนาดใหญ่ทั้งสองประเภทและ FFU ก็สามารถบรรลุความสะอาดที่เพียงพอ โดยมีความแตกต่างเพียงเล็กน้อยในการจัดการการดำเนินงานและ การใช้พลังงาน

ทั้งตัวกรอง HEPA และ FFU ได้รับการสแกนและทดสอบทีละเครื่องก่อนออกจากโรงงาน

อนุภาคเกลือทะเลในอากาศถือเป็นศัตรูตัวฉกาจของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ทั้งหมด แต่ฝุ่นเกลือทะเลในอากาศมีอนุภาคค่อนข้างใหญ่ซึ่งสามารถกรองออกได้ด้วยตัวกรองธรรมดา พื้นที่ชายฝั่งทะเลได้รับการพัฒนาทางเศรษฐกิจ และอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์บางแห่งเลือกที่จะตั้งโรงงานที่นั่น ซึ่งต้องใช้เงินเพิ่มอีกเล็กน้อยในการซื้อตัวกรอง

เทคโนโลยีการกรองในปัจจุบันสามารถลดความเข้มข้นของฝุ่นในห้องสะอาดให้เกือบเป็นศูนย์ สะอาดได้ตามที่คุณต้องการ เมื่อความกว้างของเส้นบนชิปมีขนาดเล็กเพียง 0.5μm สารเคมีปนเปื้อนในอากาศจะกลายเป็นอันตรายร้ายแรง ด้วยเหตุนี้ จึงจำเป็นต้องใช้ตัวกรองสารเคมีในระบบปรับอากาศของโรงงานชิปที่มีความกว้างของเส้นน้อยกว่า 0.5μm หลักการและกระบวนการผลิตไส้กรองเคมีไม่ซับซ้อน แต่เป็นไส้กรองถ่านกัมมันต์

แหล่งที่มาของการปนเปื้อนสารเคมีอาจเป็น: อากาศภายนอก ตัวกระบวนการ ผู้คน และวัสดุตกแต่ง ในกรณีส่วนใหญ่ ผู้ออกแบบและบุคลากรในสถานที่ปฏิบัติงานไม่สามารถบอกได้ว่าประเภทและความเข้มข้นของสารก่อมลพิษคืออะไร ดังนั้นตัวกรองสารเคมีที่ใช้ควรมีลักษณะอย่างน้อยสองประการ: คุณสมบัติการดูดซับในวงกว้างและวัสดุถ่านกัมมันต์ในปริมาณที่เพียงพอ การดูดซับในวงกว้างหมายความว่าสามารถดูดซับอะไรก็ได้ และวัสดุที่สามารถทำหน้าที่นี้ได้ก็คือถ่านกัมมันต์แบบเม็ดที่พบมากที่สุดและถูกที่สุด หากสามารถระบุประเภทของสารมลพิษได้ วัสดุถ่านกัมมันต์สามารถถูกบำบัดด้วยสารเคมีแบบกำหนดเป้าหมายเพื่อเพิ่มความสามารถในการดูดซับสำหรับสารมลพิษเฉพาะ

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ไม่ใช่ 'อุตสาหกรรมไร้ควัน' ตามที่เชื่อกันโดยทั่วไป และยังมีปัญหาด้านสิ่งแวดล้อมด้วย เนื่องจากมักใช้กระบวนการและวัสดุใหม่ล่าสุด สารเคมีบางชนิดจึงถูกใช้ในปริมาณมากก่อนที่จะได้รับการประเมินความปลอดภัย และความประมาทเพียงเล็กน้อยสามารถนำไปสู่มลภาวะทางเคมีร้ายแรง ทั้งน้ำใต้ดินและอากาศ ด้วยเหตุผลด้านความปลอดภัย บางบริษัทยังใช้ตัวกรองสารเคมีในระบบระบายอากาศเสียด้วย